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双束聚焦离子束微纳加工仪(Quanta 3D FEG, FEI)

发表日期:2014年03月01日

 

 

仪器名称
双束聚焦离子束微纳加工仪
型号
FEI Quanta 3D FEG
最高加速电压
30 kV
电子束最高分辨率
1.2 nm
聚焦离子束光学系统最高分辨率
7 nm
分析工作距离
10 mm
离子源
液态镓离子
气体注入系统
铂沉积
主要功能
FIB、SEM、EDS、BSE、EBSD
厂家
美国FEI公司
出厂日期
2011年12月1日
主要服务单位
材料学院、能源系、力学系、化工院、光电系、信电系、药学院、建工院、环资学院、高分子系、动科院、机械系、物理系、求是高等研究院等
北京工业大学固体所、湖南大学、东南大学、理化技术研究所、中石油杭州地质研究院、北京航空航天大学、吉林大学材料学院、江苏华创光电科技有限公司、苏州纳米所、中科院地球化学所等

 

负责人:王亚