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学术活动 |
双束聚焦离子束微纳加工仪（Quanta 3D FEG, FEI）
发表日期：2022-03-17
| 仪器名称 | 双束聚焦离子束微纳加工仪 |
| 型号 | FEI Quanta 3D FEG |
| 最高加速电压 | 30 kV |
| 电子束最高分辨率 | 1.2 nm |
| 聚焦离子束光学系统最高分辨率 | 7 nm |
| 分析工作距离 | 10 mm |
| 离子源 | 液态镓离子 |
| 气体注入系统 | 铂沉积 |
| 主要功能 | FIB、SEM、EDS、BSE、EBSD |
| 厂家 | 美国FEI公司 |
| 出厂日期 | 2011年12月1日 |
| 主要服务单位 | 材料学院、能源系、力学系、化工院、光电系、信电系、药学院、建工院、环资学院、高分子系、动科院、机械系、物理系、求是高等研究院等 |
| 北京工业大学固体所、湖南大学、东南大学、理化技术研究所、中石油杭州地质研究院、北京航空航天大学、吉林大学材料学院、江苏华创光电科技有限公司、苏州纳米所、中科院地球化学所等 |
负责人：王亚
