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超高分辨场发射扫描电镜（SU8600, Hitachi）

发表日期：2025-01-08


仪器名称
超高分辨场发射扫描电镜
型号

Hitachi SU860

着陆电压

0.01-20 kV

SEM分辨率

0.6 nm(15 kV)

0.7 nm (1 kV)

最高放大倍数

×2,000,000

主要功能
•SEM、BSE 
•EDS-Mapping